YM-2膜式镱应力传感器及其动态压阻特性
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摘要: 本文介绍了用纯度为99.95％的镱作原料,采用真空蒸发、沉积方式制成的低应力传感器。用100 mm压缩气体炮为加载手段,在0～3.4G Pa压力范围内对镱应力传感器进行了标定。
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- ISSN 1001-1455 CN 51-1148/O3
- EI、Scopus、CA、JST收录
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